Исследование топологии интегральных микросхем методом атомно-силовой микроскопии [Текст] / В. А. Пилипенко [и др. ] // Вестник Белорусского государственного университета. Сер. 1, Физика. Математика. Информатика. - 2012. - № 1. - С. 17-20. - Библиогр.: с. 20 (4 назв. ) . - ISSN 0321-0367
Рубрики: Радиоэлектроника Электроника в целом Кл.слова (ненормированные): интегральные схемы -- микроэлектроника -- микроскопия -- атомно-силовая микроскопия -- технологический контроль -- визуальный контроль -- микрорельеф типологических структур -- типологические структуры Аннотация: Эффективность метода атомно-силовой микроскопии в осуществлении метрологических измерений типологических слоев серийно выпускаемых ИМС. Доп.точки доступа: Пилипенко, Владимир Александрович (доктор технических наук); Чижик, Сергей Антонович (доктор технических наук); Понарядов, Владимир Васильевич (кандидат физико-математических наук); Петлицкая, Татьяна Владимировна (кандидат технических наук); Кузнецова, Татьяна Анатольевна (кандидат технических наук) Нет сведений об экземплярах (Источник в БД не найден) |