Казаков, Олег Григорьевич (доцент; кандидат химических наук; доцент). Влияние геометрии полупроводниковых пластин на их качество [Текст] = The Influence of the Geometry of Semiconductor Wafers on Their Quality / О. Г. Казаков, А. В. Радьков, А. А. Малаханов> // Качество. Инновации. Образование. - 2020. - № 3. - С. 32-36 : 3 рис. - Библиогр.: с. 35 (4 назв.) . - ISSN 1999-513Х
Рубрики: Механика Измерение механических и геометрических величин Химическая технология Общие вопросы химической технологии Кл.слова (ненормированные): внутренние напряжения -- кремний -- механическая обработка -- механическая прочность -- микротрещины -- неоднородность -- осесимметричные изгибы -- полупроводниковые пластины Аннотация: В статье рассматривается механическая прочность и ее распределение по площади кремниевых пластин. Результаты работы показали, что прочность кремниевых пластин неоднородна по их поверхности, причем при увеличении диаметра неоднородность усиливается. Доп.точки доступа: Радьков, Арсений Владимирович (преподаватель); Малаханов, Алексей Алексеевич (доцент; заведующий кафедрой; кандидат технических наук) Нет сведений об экземплярах (Источник в БД не найден) |
Казаков, Олег Григорьевич (кандидат химических наук; доцент). Исследование механизма влияния концентрации носителей заряда на механическую прочность кремниевых пластин с дырочной проводимостью [Текст] = The Investigation of the Influence`s Mechanism of the Concentration of Charge Carriers on the Mechanical Strength of Silicon Wafers with Hole Conductivity / О. Г. Казаков, А. В. Радьков, Н. О. Радькова> // Качество. Инновации. Образование. - 2022. - № 1. - С. 68-72 : рис., табл. - Библиогр.: с. 71 (5 назв.) . - ISSN 1999-513Х
Рубрики: Технология металлов Общая технология металлов Физика Термодинамика и статистическая физика Кл.слова (ненормированные): интенсивность электрических полей -- ковалентная связь -- концентрация дырок -- концентрация носителей заряда -- кремниевые пластины -- механические напряжения -- механическое воздействие -- микротрещины -- осесимметричные изгибы -- энергетическое воздействие -- энергия образования связи Аннотация: В статье механизм влияния концентрации носителей заряда на механическую прочность кремниевых пластин под механическим воздействием. Рассмотрено влияние величины концентрации дырок на длину микротрещины и механическую прочность кремниевых пластин. При механическом воздействии происходит смещение дефектов структур (дырок) в область более высоких механических напряжений. Доп.точки доступа: Радьков, Арсений Владимирович (старший преподаватель); Радькова, Наталья Олеговна (кандидат технических наук; доцент) Нет сведений об экземплярах (Источник в БД не найден) |