Широкополосный спектроанализатор электромагнитного излучения для плазменных технологических установок [Текст] = Broadband Electromagnetic Radiation Spectrum Analyzer for Plasma Processing Units / С. И. Досько [и др.] // Качество. Инновации. Образование. - 2019. - № 3. - С. 81-88 : 7 рис., табл. - Библиогр.: с. 85-86 (15 назв.) . - ISSN 1999-513Х
Рубрики: Радиоэлектроника Автоматика и телемеханика Кл.слова (ненормированные): вакуумные установки -- дислокационные структуры -- индукционные датчики -- магнитоиндукционные способы -- плазма -- резонансные методы -- спектроанализаторы -- технологические установки -- тлеющий разряд -- физико-механические свойства -- электромагнитные излучения -- электромагнитные импульсы Аннотация: Предложена и испытана схема широкополосного спектроанализатора сигнала электромагнитного излучения плазмы тлеющего разряда на основе многоканального индукционного датчика, АЦП и программы Saprony. Доп.точки доступа: Досько, Сергей Иванович (старший научный сотрудник; заведующий лабораторией; кандидат технических наук; доцент); Логвин, Владимир Александрович (доцент; кандидат технических наук; доцент); Шептунов, Сергей Александрович (доктор технических наук; профессор; директор); Юганов, Евгений Васильевич (аспирант) Нет сведений об экземплярах (Источник в БД не найден) |