Исследование зависимости заселенностей метастабильных состояний атомов аргона от условий возбуждения высокочастотного тлеющего разряда [Текст] / Б. Т. Байсова [и др.] // Известия вузов. Физика. - 2013. - Т. 56, № 1. - С. 63-67 : табл., рис. - Библиогр.: c. 67 (5 назв. ) . - ISSN 0021-3411
Рубрики: Физика Электронные и ионные явления. Физика плазмы Кл.слова (ненормированные): аргон-силановая плазма -- высокочастотный разряд -- заселенность состояний -- метастабильные состояния аргона -- осаждение тонких пленок -- плазмохимические процессы -- тлеющий разряд -- тонкие пленки аморфного кремния Аннотация: Рассчитаны заселенности метастабильных состояний атомов аргона в плазме высокочастотного тлеющего разряда. Исследованы зависимости заселенности метастабильных состояний атомов аргона в плазме высокочастотного тлеющего разряда в зависимости от расхода газа (14-30 станд. см 3/мин) и от колебательной мощности генератора (10-50 Вт) в атмосфере чистого аргона и смеси аргон - силан (95 % Ar + 5 % SiH 4), а также зависимость заселенности метастабильных состояний атомов аргона в плазме высокочастотного тлеющего разряда в зависимости от содержания силана (0, 5-5 %) в аргон-силановой смеси. Доп.точки доступа: Байсова, Б. Т.; Демин, А. С.; Пушкарев, А. А.; Струнин, В. И.; Худайбергенов, Г. Ж. Нет сведений об экземплярах (Источник в БД не найден) |