Главная Упрощенный режим Описание Шлюз Z39.50
Авторизация
Фамилия
Пароль
 

Базы данных


- результаты поиска

Вид поиска
Книги фонда НБ СГЮА
Дипломные работы выпускников СГЮА за последние 5 лет
Авторефераты
Диссертации
Период.издания науч.абонемента
Редкие книги Научной библиотеки СГЮА
Каталог электронных носителей
Труды ученых СГЮА
Саратовский край
Область поиска
в найденном
Формат представления найденных документов:
полныйинформационныйкраткий
Поисковый запрос: (<.>K=типологические структуры<.>)
Общее количество найденных документов : 1
1.


   
    Исследование топологии интегральных микросхем методом атомно-силовой микроскопии [Текст] / В. А. Пилипенко [и др. ] // Вестник Белорусского государственного университета. Сер. 1, Физика. Математика. Информатика. - 2012. - № 1. - С. 17-20. - Библиогр.: с. 20 (4 назв. ) . - ISSN 0321-0367
УДК
^a621.38
ББК 32.85
Рубрики: Радиоэлектроника
   Электроника в целом
Кл.слова (ненормированные):
интегральные схемы -- микроэлектроника -- микроскопия -- атомно-силовая микроскопия -- технологический контроль -- визуальный контроль -- микрорельеф типологических структур -- типологические структуры
Аннотация: Эффективность метода атомно-силовой микроскопии в осуществлении метрологических измерений типологических слоев серийно выпускаемых ИМС.


Доп.точки доступа:
Пилипенко, Владимир Александрович (доктор технических наук); Чижик, Сергей Антонович (доктор технических наук); Понарядов, Владимир Васильевич (кандидат физико-математических наук); Петлицкая, Татьяна Владимировна (кандидат технических наук); Кузнецова, Татьяна Анатольевна (кандидат технических наук)
Нет сведений об экземплярах (Источник в БД не найден)

Найти похожие
 
Стандартный
Расширенный
Профессиональный
Распределенный
По словарю
ГРНТИ-навигатор
УДК-навигатор
ББК-навигатор
Тематический навигатор
© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)