Главная Упрощенный режим Описание Шлюз Z39.50
Авторизация
Фамилия
Пароль
 

Базы данных


- результаты поиска

Вид поиска

Область поиска
Формат представления найденных документов:
полныйинформационныйкраткий
Поисковый запрос: (<.>K=температуры роста<.>)
Общее количество найденных документов : 1
1.


   
    Структура пленок Si/Al2O2 и пути улучшения их качества [Текст] / С. А. Денисов [и др. ] // Вестник Мордовского госуниверситета. - 2007. - N 3. - С. 79-83 : Рис., таблицы. - Библиогр.: c. 83 (7 назв. ) . - ISSN 0236-2007
УДК
ББК 22.37
Рубрики: Физика
   Физика твердого тела. Кристаллография в целом

Кл.слова (ненормированные):
кремний -- молекулярно-лучевая эпитаксия -- пленки кремния -- сапфировые подложки -- слои кремния -- температуры роста -- эпитаксиальные слои
Аннотация: Целью представленной работы явилось исследование зависимости структурного совершенства слоев кремния на сапфире от температуры роста методом сублимационной молекулярно-лучевой эпитаксии, а также поиск путей для улучшения структурного совершенства слоев кремния и сглаживания их поверхности.


Доп.точки доступа:
Денисов, С. А.; Шенгуров, В. Г.; Светлов, С. П.; Чалков, В. Ю.

Найти похожие

 
© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)