Главная Упрощенный режим Описание Шлюз Z39.50
Авторизация
Фамилия
Пароль
 

Базы данных


- результаты поиска

Вид поиска

Область поиска
Формат представления найденных документов:
полныйинформационныйкраткий
Поисковый запрос: (<.>K=статфактор<.>)
Общее количество найденных документов : 1
1.


   
    Рентгеновские исследования термической и лазерной диффузии бора в кремнии [Текст] / С. В. Шилов [и др. ] // Вестник Челябинского государственного университета. - 2008. - N 25. - С. 78-81. - Библиогр. с. 81 (4 назв. ) . - ISSN 1994-2796
УДК
ББК 22.37
Рубрики: Физика--Россия, 21 в. нач.
   Физика твердого тела. Кристаллография в целом

Кл.слова (ненормированные):
кремний -- легирование -- деформация -- дефекты -- статфактор
Аннотация: Методами дифракционного отражения и трехкристальной рентгеновской дифрактометрии исследовано изменение структуры монокристалов кремния при термической и лазерной диффузии бора. Установлены толщины легированных слоев, средние деформации, факторы аморфизации, типы дефектов, а также их плотности и размеры.


Доп.точки доступа:
Котов, Леонид Нафанаилович (д-р физико-математ. наук, проф., зав. каф. радиофизики и электроники Сыктывкар. гос. ун-та); Петраков, Анатолий Павлович (д-р физико-математ. наук, зав. каф. физики твердого тела Сыктывкар. гос. ун-та); Асадуллин, Фанур Фаритович (канд. физико-математ. наук, доц., зав. каф. физики Сыктывкар. лесного ин-та); Шилов, Сергей Владимирович (зав. лаб. каф. физики твердого тела Сыктывкар. гос. ун-та)

Найти похожие

 
© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)