Научная библиотека СГЮА

Главная

Упрощенный режим

Описание

Шлюз Z39.50

Базы данных

- результаты поиска

Вид поиска

Книги фонда НБ СГЮА

Дипломные работы выпускников СГЮА за последние 5 лет

Авторефераты

Диссертации

Период.издания науч.абонемента

Редкие книги Научной библиотеки СГЮА

Каталог электронных носителей

Труды ученых СГЮА

Саратовский край

Область поиска

Формат представления найденных документов:
полный	информационный	краткий

Поисковый запрос: (<.>K=магнетронная распылительная система<.>)

Общее количество найденных документов : 1

Генератор объемной плазмы высокой плотности на основе сильноточного импульсного магнетронного разряда [Текст] / А. В. Козырев [и др.] // Известия вузов. Физика. - 2012. - С. 61-67 : рис. - Библиогр.: с. 67 (5 назв. ) . - ISSN 0021-3411

УДК

^a533.9

ББК 22.333
Рубрики: Физика
Электронные и ионные явления. Физика плазмы
Кл.слова (ненормированные):
генератор объемной плазмы -- импульсные магнетронные разряды -- магнетронная распылительная система -- магнетронные разряды -- плазменно-иммерсионная обработка
Аннотация: Представлены результаты исследований пространственных и временных параметров объемной плазмы, генерируемой двумя сильноточными импульсами магнетронными распылительными системами при их работе в сбалансированном и несбалансированном режимах. Показано, что плазма, заполняющая вакуумную камеру, состоит из двух компонент: плазмы, дрейфующей из области магнитных ловушек магнетронов, и плазмы, генерируемой осциллирующими электронами непосредственно в объеме камеры. В случае сбалансированной конфигурации магнитного поля магнетронов плазма в центре вакуумной камеры объемом ~ 10 л имеет концентрацию (1-2) x10[13]см[-3] при амплитуде тока разряда магнетронов 350 А. Использование несбалансированной конфигурации магнитного поля позволяет увеличить концентрацию плазмы в центральной части вакуумной камеры до ~ 6x10[13]см[-3].

Доп.точки доступа:
Козырев, А. В.; Сочугов, Н. С.; Захаров, А. Н.; Оскирко, В. О.; Семенов, В. А.; Семенюк, Н. С.
Нет сведений об экземплярах (Источник в БД не найден)

Найти похожие

Тематический навигатор

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)