Главная Упрощенный режим Описание Шлюз Z39.50
Авторизация
Фамилия
Пароль
 

Базы данных


- результаты поиска

Вид поиска
Книги фонда НБ СГЮА
Дипломные работы выпускников СГЮА за последние 5 лет
Авторефераты
Диссертации
Период.издания науч.абонемента
Редкие книги Научной библиотеки СГЮА
Каталог электронных носителей
Труды ученых СГЮА
Саратовский край
Область поиска
Формат представления найденных документов:
полныйинформационныйкраткий
Поисковый запрос: (<.>K=контролируемая газовая среда<.>)
Общее количество найденных документов : 1
1.


    Анненков, Андрей Николаевич.
    Развитие моделей и алгоритмического обеспечения системы управления установки нанесения фоторезиста [Текст] / А. Н. Анненков, О. В. Белоусова // Информационные системы и технологии. - 2022. - № 4. - С. 60-68. - Библиогр.: с. 68 (12 назв.) . - ISSN 2072-8964
УДК
^a681.3:62-52
ББК 30.6-5-05
Рубрики: Техника
   Автоматизация оборудования
Кл.слова (ненормированные):
автоматизированные установки нанесения фоторезиста -- адгезионные свойства пленки фоторезиста -- алгоритмическое обеспечение -- контролируемая газовая среда -- однородность и целостность фоторезистивного слоя -- пленки фоторезиста -- постоянство ускорения электропривода центрифуги -- системы управления -- топологические параметры
Аннотация: Разработанная система управления технологическим процессом нанесения фоторезиста обеспечивает возможность создания оборудования для выпуска продукции микроэлектроники с высокими технологическими нормами за счет развития моделей и алгоритмического обеспечения системы управления установки нанесения фоторезиста.


Доп.точки доступа:
Белоусова, Олеся Владимировна
Нет сведений об экземплярах (Источник в БД не найден)

Найти похожие
 
Стандартный
Расширенный
Профессиональный
Распределенный
По словарю
ГРНТИ-навигатор
УДК-навигатор
ББК-навигатор
Тематический навигатор
© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)