Главная Упрощенный режим Описание Шлюз Z39.50
Авторизация
Фамилия
Пароль
 

Базы данных


- результаты поиска

Вид поиска

Область поиска
Формат представления найденных документов:
полныйинформационныйкраткий
Поисковый запрос: (<.>K=дислокационные сетки<.>)
Общее количество найденных документов : 1
1.


    Кулинич, О. А.
    Роль механизмов пластической деформации при формировании наноструктурированного кремния и его фотолюминесцентные свойства [Текст] / О. А. Кулинич // Известия вузов. Физика. - 2012. - С. 52-57. - Библиогр.: c. 56-57 (11 назв. ) . - ISSN 0021-3411
УДК
ББК 22.379
Рубрики: Физика
   Физика полупроводников и диэлектриков

Кл.слова (ненормированные):
дефекты -- деформации -- дислокационные сетки -- наноструктурированный кремний -- островки наноструктурированного кремния -- пластические деформации
Аннотация: Показана роль механизмов пластической деформации в процессе получения слоев наноструктурированного кремния. Процесс получения наноструктурированного кремния заключается в том, что на поверхности кремниевой пластины выращивались слои окиси кремния различной толщины с последующим их удалением и обработкой в избирательных химических травителях (ИТ) до появления бездефектного островкового кремния, обладающего фотолюминесцентными свойствами, характерными для наноструктурированного кремния. Из анализа спектров интенсивности фотолюминесценции, полученных от области островков наноструктурированного кремния, сделан вывод о различии механизмов пластической деформации для различных толщин выращенного оксида кремния. Обсуждаются возможные механизмы смещения максимума интенсивности спектра фотолюминесценции (ФЛ) в коротковолновую область спектра при уменьшении размеров островков наноструктурированного кремния.

Нет сведений об экземплярах (Источник в БД не найден)

Найти похожие

 
© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)