Главная Упрощенный режим Описание Шлюз Z39.50
Авторизация
Фамилия
Пароль
 

Базы данных


- результаты поиска

Вид поиска
Книги фонда НБ СГЮА
Дипломные работы выпускников СГЮА за последние 5 лет
Авторефераты
Диссертации
Период.издания науч.абонемента
Редкие книги Научной библиотеки СГЮА
Каталог электронных носителей
Труды ученых СГЮА
Саратовский край
Область поиска
Формат представления найденных документов:
полный информационныйкраткий
Поисковый запрос: (<.>K=импульсные магнетронные разряды<.>)
Общее количество найденных документов : 1
1.

Вид документа : Статья из журнала
Шифр издания :
Автор(ы) : Козырев А. В., Сочугов Н. С., Захаров А. Н., Оскирко В. О., Семенов В. А., Семенюк Н. С.
Заглавие : Генератор объемной плазмы высокой плотности на основе сильноточного импульсного магнетронного разряда
Серия: Физика плазмы
Место публикации : Известия вузов. Физика. - 2012. - С.61-67: рис. - ISSN 0021-3411 (Шифр izph/2012/55/2). - ISSN 0021-3411
Примечания : Библиогр.: с. 67 (5 назв. )
УДК : 533.9
ББК : 22.333
Предметные рубрики: Физика
Электронные и ионные явления. Физика плазмы
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): генератор объемной плазмы--импульсные магнетронные разряды--магнетронная распылительная система--магнетронные разряды--плазменно-иммерсионная обработка
Аннотация: Представлены результаты исследований пространственных и временных параметров объемной плазмы, генерируемой двумя сильноточными импульсами магнетронными распылительными системами при их работе в сбалансированном и несбалансированном режимах. Показано, что плазма, заполняющая вакуумную камеру, состоит из двух компонент: плазмы, дрейфующей из области магнитных ловушек магнетронов, и плазмы, генерируемой осциллирующими электронами непосредственно в объеме камеры. В случае сбалансированной конфигурации магнитного поля магнетронов плазма в центре вакуумной камеры объемом ~ 10 л имеет концентрацию (1-2) x10[13]см[-3] при амплитуде тока разряда магнетронов 350 А. Использование несбалансированной конфигурации магнитного поля позволяет увеличить концентрацию плазмы в центральной части вакуумной камеры до ~ 6x10[13]см[-3].
Найти похожие
 
Стандартный
Расширенный
Профессиональный
Распределенный
По словарю
ГРНТИ-навигатор
УДК-навигатор
ББК-навигатор
Тематический навигатор
© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)