Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : Автор(ы) : Казаков, Олег Григорьевич (доцент; кандидат химических наук; доцент), Радьков, Арсений Владимирович, Малаханов, Алексей Алексеевич Заглавие : Влияние геометрии полупроводниковых пластин на их качество Параллельн. заглавия :The Influence of the Geometry of Semiconductor Wafers on Their Quality Серия: Приборы, методы, технологии Место публикации : Качество. Инновации. Образование. - 2020. - № 3. - С.32-36: 3 рис. - ISSN 1999-513Х (Шифр kaio/2020/3). - ISSN 1999-513Х Примечания : Библиогр.: с. 35 (4 назв.) УДК : 531.7 + 66 ББК : 22.21 + 35 Предметные рубрики: Механика Измерение механических и геометрических величин Химическая технология Общие вопросы химической технологии Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): внутренние напряжения--кремний--механическая обработка--механическая прочность--микротрещины--неоднородность--осесимметричные изгибы--полупроводниковые пластины Аннотация: В статье рассматривается механическая прочность и ее распределение по площади кремниевых пластин. Результаты работы показали, что прочность кремниевых пластин неоднородна по их поверхности, причем при увеличении диаметра неоднородность усиливается. Доп.точки доступа: Радьков, Арсений Владимирович (преподаватель); Малаханов, Алексей Алексеевич (доцент; заведующий кафедрой; кандидат технических наук)