Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : Автор(ы) : Доморацкий Е. П. (доктор технических наук ; профессор) Заглавие : Система импульсной экспозиции микрообъектов Параллельн. заглавия :System of the Pulse Exposition of Microobjects Серия: Приборы, методы и технологии Место публикации : Качество. Инновации. Образование. - 2014. - № 11. - С.45-49: табл., 3 рис. (Шифр kaio/2014/11) Примечания : Библиогр.: с. 48 (5 назв.) УДК : 621.397 ББК : 32.94 Предметные рубрики: Радиоэлектроника Телевидение Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): геометрические характеристики микрообъектов--динамический контроль--дифференциальный управляющий контроль--импульсное микроизображение--импульсные экспозиции микрообъектов--микрообъекты--оптическая система формирования пучка--управляющий контроль--характеристика микрообъектов Аннотация: Рассматривается система импульсной экспозиции микрообъектов, предназначенная для быстродействующего бесконтактного динамического дифференциального управляющего контроля геометрических характеристик микрообъектов.