Казаков, Олег Григорьевич (доцент; кандидат химических наук; доцент). Влияние геометрии полупроводниковых пластин на их качество [Текст] = The Influence of the Geometry of Semiconductor Wafers on Their Quality / О. Г. Казаков, А. В. Радьков, А. А. Малаханов> // Качество. Инновации. Образование. - 2020. - № 3. - С. 32-36 : 3 рис. - Библиогр.: с. 35 (4 назв.) . - ISSN 1999-513Х
Рубрики: Механика Измерение механических и геометрических величин Химическая технология Общие вопросы химической технологии Кл.слова (ненормированные): внутренние напряжения -- кремний -- механическая обработка -- механическая прочность -- микротрещины -- неоднородность -- осесимметричные изгибы -- полупроводниковые пластины Аннотация: В статье рассматривается механическая прочность и ее распределение по площади кремниевых пластин. Результаты работы показали, что прочность кремниевых пластин неоднородна по их поверхности, причем при увеличении диаметра неоднородность усиливается. Доп.точки доступа: Радьков, Арсений Владимирович (преподаватель); Малаханов, Алексей Алексеевич (доцент; заведующий кафедрой; кандидат технических наук) Нет сведений об экземплярах (Источник в БД не найден) |