Автоматизированная система формирования топологической информации для изготовления комплекта фотошаблонов сверхбольших интегральных схем [Текст] / А. В. Амирханов [и др.] // Информационные технологии. - 2016. - Т. 22, № 2. - С. 127-133. - Библиогр.: с. 133 (11 назв.) . - ISSN 1684-6400
Рубрики: Вычислительная техника Программирование ЭВМ. Компьютерные программы. Программотехника Кл.слова (ненормированные): САПР -- интегральные схемы -- литография -- программное обеспечение -- фотошаблоны Аннотация: Рассмотрен подход к автоматизации процесса формирования топологической информации для производства фотошаблонов субмикронных сверхбольших интегральных схем. Разработано программное обеспечение, интегрированное с системой автоматизированного проектирования. Доп.точки доступа: Амирханов, А. В. (доктор физико-математических наук); Гладких, А. А. (кандидат технических наук; доцент); Глушко, А. А. (кандидат технических наук; доцент); Макарчук, В. В. (кандидат технических наук; доцент); Шахнов, В. А. Нет сведений об экземплярах (Источник в БД не найден) |