Генератор объемной плазмы высокой плотности на основе сильноточного импульсного магнетронного разряда [Текст] / А. В. Козырев [и др.]> // Известия вузов. Физика. - 2012. - С. 61-67 : рис. - Библиогр.: с. 67 (5 назв. ) . - ISSN 0021-3411
Рубрики: Физика Электронные и ионные явления. Физика плазмы Кл.слова (ненормированные): генератор объемной плазмы -- импульсные магнетронные разряды -- магнетронная распылительная система -- магнетронные разряды -- плазменно-иммерсионная обработка Аннотация: Представлены результаты исследований пространственных и временных параметров объемной плазмы, генерируемой двумя сильноточными импульсами магнетронными распылительными системами при их работе в сбалансированном и несбалансированном режимах. Показано, что плазма, заполняющая вакуумную камеру, состоит из двух компонент: плазмы, дрейфующей из области магнитных ловушек магнетронов, и плазмы, генерируемой осциллирующими электронами непосредственно в объеме камеры. В случае сбалансированной конфигурации магнитного поля магнетронов плазма в центре вакуумной камеры объемом ~ 10 л имеет концентрацию (1-2) x10[13]см[-3] при амплитуде тока разряда магнетронов 350 А. Использование несбалансированной конфигурации магнитного поля позволяет увеличить концентрацию плазмы в центральной части вакуумной камеры до ~ 6x10[13]см[-3]. Доп.точки доступа: Козырев, А. В.; Сочугов, Н. С.; Захаров, А. Н.; Оскирко, В. О.; Семенов, В. А.; Семенюк, Н. С. Нет сведений об экземплярах (Источник в БД не найден) |