Влияние параметров осаждения на сверхтвердость и стехиометрию наноструктурных пленок Ti-Hf-Si-N [Текст] / А. Д. Погребняк [и др.] // Известия вузов. Физика. - 2011. - С. 38-45. - Библиогр.: c. 45 (12 назв. ) . - ISSN 0021-3411
Рубрики: Физика Обработка материалов Техника Теоретическая физика Кл.слова (ненормированные): Ti-Hf-Si-N -- коэффициент трения -- материаловедение -- модули упругости -- наноструктурные пленки Ti-Hf-Si-N -- наноструктурные покрытия -- сверхтвердые двухфазные наноструктурные покрытия -- сверхтвердые покрытия -- стехиометрия наноструктурных пленок -- твердые наноструктуры -- элементный состав Аннотация: Получены сверхтвердые наноструктурные покрытия (пленки) на основе Ti-Hf-Si-N с высокими физико-механическими свойствами. С помощью ядерных и атомно-физических методов анализа: POP, ВИМС, хромато-масс-спектрометрии, РЭМ с энергодисперсной рентгеновской спектроскопией, дифракционного рентгеновского анализа и наноиндентирования - были исследованы элементный и фазовый состав, морфология этих пленок в зависимости от подаваемого на них потенциала смещения на подложку и давления в камере. Обнаружено, что при уменьшении размера нанозерен nc- (Ti, Hf) N от 6, 7 до 5 нм и формировании a-Si[3]N[4] (аморфной или квазиаморфной фазы как прослойки между нанозернами) возрастает нанотвердость от 42, 7 до 48, 4-1, 6 ГПа, однако дальнейшее уменьшение размера кристаллитов (Ti, Hf) N до 4, 0 приводит к незначительному уменьшению твердости. Определена стехиометрия состава пленки, которая изменяется от (Ti[40]-Hf[9]-Si[7, 5]) N46 до композиции (Ti[28]-Hf[9]-Si[9]) N[45], изменяется также значение параметра решетки твердого раствора (Ti, HON. Следует отметить, что в покрытиях с высокой твердостью коэффициент трения наименьший (0, 2) и его величина не меняется при истирании всей толщины покрытия. Доп.точки доступа: Погребняк, А. Д.; Береснев, В. М.; Шпак, А. П.; Конарский, П.; Комаров, Ф. Ф.; Кирик, Г. В.; Махмудов, Н. А.; Колесников, Д. А.; Углов, В. В.; Соболь, О. В.; Каверин, М. В.; Грудницкий, В. В. Нет сведений об экземплярах (Источник в БД не найден) |