Батюня, Л. П. (канд. техн. наук). Технологический процесс получения защитных пленок нитрида бора [Текст] / Л. П. Батюня, Е. Б. Соколов> // Экология промышленного производства. - 2006. - N 2. - С. . 85-88. - Библиогр.: с. 88 (6 назв. ). - s, 2006, , rus. - RUMARS-ekpp06_000_002_0085_1. - Научно-техническая библиотека Уфимского государственного авиационного технического универсистета. - N 2. - С. 85-88. - ekpp06_000_002_0085_1, 2, 85-88, sbo@mail. rb. ru
Рубрики: Экология--Промышленная экология в целом Кл.слова (ненормированные): ХОГ -- химические осаждения газовой фазы -- высокотемпературные сверхпроводящие структуры -- методы получения пленок Аннотация: Рассмотрены различные методы получения тонких боронитридных пленок. Доп.точки доступа: Соколов, Е. Б. (д-р техн. наук) Нет сведений об экземплярах (Источник в БД не найден) |